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thermocera熱CVD設(shè)備納米爐BWS-NANO-2.5

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更新日期：2024-03-23

簡要描述：

thermocera熱CVD設(shè)備納米爐BWS-NANO-2.5
【熱水熱CVD設(shè)備】小型高性能CVD設(shè)備是基礎(chǔ)研究的理想選擇

thermocera熱CVD設(shè)備納米爐BWS-NANO-2.5
品牌其他品牌燃料電加熱鍋爐
結(jié)構(gòu)形式立式出口壓力高壓

thermocera熱CVD設(shè)備納米爐BWS-NANO-2.5

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納米爐模型。 BWS-納米

【熱水熱CVD設(shè)備】小型高性能CVD設(shè)備是基礎(chǔ)研究的理想選擇

  • 石墨烯、碳納米管

  • 氧化鋅納米線

  • 絕緣膜，如SiO2等

此外，它可以作為熱水型熱CVD裝置廣泛用于各種用途。


特征

  • 緊湊的系統(tǒng)可實現(xiàn)高質(zhì)量的薄膜沉積實驗

  • 熱水式反應(yīng)管內(nèi)部均勻加熱

  • 4 個系統(tǒng)（用于 CH4、Ar、H2、起泡器） MFC 高精度流量控制：精度±1% F.S.

  • 帶電容壓力計的高精度APC壓力控制

  • 通過可選的實驗室視圖軟件進(jìn)行遠(yuǎn)程控制，數(shù)據(jù)分析

thermocera熱CVD設(shè)備納米爐BWS-NANO-2.5

原理圖規(guī)格

石英爐芯管尺寸Φ2.5英寸或Φ4英寸 x 長12"
樣本量10 x 10毫米（2.5英寸）、100 x 100毫米（4英寸）
溫度控制PID編程溫度控制器
爐壓控制APC自動壓力控制
極限壓力5 x 10-3 托
真空計食人魚計，電容壓力計
真空泵旋轉(zhuǎn)泵
質(zhì)量流量控制器0-50SCCM（CH4）
0-500sccm（Ar）
0-1000sccm（H2）
0-50sccm（用于起泡劑、酒精劑或無毒液前體）



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