日本yamashitadenso表面缺陷探傷儀

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更新日期：2024-03-22

簡要描述：

日本yamashitadenso表面缺陷探傷儀
應(yīng)用流傳已久的魔鏡(透光鏡)原理，達(dá)成實(shí)時(shí)檢測鏡面平板基材表面狀態(tài)的裝置。受世界各地的矽晶圓廠所用。

詳細(xì)介紹

類型	無損傷

日本yamashitadenso表面缺陷探傷儀

表面缺陷檢測設(shè)備（一般）

表面欠陥検査裝置（通常タイプ）

應(yīng)用流傳已久的魔鏡(透光鏡)原理，達(dá)成實(shí)時(shí)檢測鏡面平板基材表面狀態(tài)的裝置。受世界各地的矽晶圓廠所用。
非接觸、非破壞性的檢查，以及免維護(hù)的光學(xué)系統(tǒng)根據(jù)選配，可追加表面缺陷自動(dòng)判定影像處理軟體、自動(dòng)化搬運(yùn)裝置、影像儲(chǔ)存、影像列印等功能。

即時(shí)顯示所有表面狀態(tài)。
光學(xué)系統(tǒng)對應(yīng)等級１
光學(xué)系統(tǒng)無須維護(hù)。
根據(jù)檢測內(nèi)容，可修正檢測靈敏度。

日本yamashitadenso表面缺陷探傷儀

檢測尺寸	從φ100mm至φ300mm
檢測內(nèi)容	平坦度、凹洞、凸起、刮痕、橘皮等
檢測倍率	1x / 3x 模式可切換（標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備）
檢測靈敏度	檢測靈敏度可連續(xù)調(diào)整
使用光源	550nm?。ü潭ㄕ斩戎€(wěn)定光源）
鏡頭	高解析度CCD鏡頭
平臺(tái)	手動(dòng)平臺(tái)（標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備）

用途

鏡面晶圓的表面檢測

滑線檢測

玻璃基板檢測

其他鏡面基板檢測

選配

電動(dòng)馬達(dá)檢測平移臺(tái)

自動(dòng)判定缺陷影像處理裝置

影像列印機(jī)

搬運(yùn)裝置

※ 可以隨時(shí)在敝公司內(nèi)展示。
※ 可將樣品寄送過來，之后我們再將影像結(jié)果回寄。

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