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更新日期:2024-03-21
簡要描述:
日本fcon質量流量控制器/儀表1000系列● 專攻質量流量控制器基本功能的低價機型。● 追求基本性能的獨chuang技術,降低成本,提高產品性能和可靠性。● 除了固定式電源[PA01],還有面板安裝電源[PA01P]。● 緊湊的尺寸
類型 | 變面積式 | 測量范圍 | 1m3/h |
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日本fcon質量流量控制器/儀表1000系列
● 專攻質量流量控制器基本功能的低價機型。 |
日本fcon質量流量控制器/儀表1000系列
型號:質量流量控制器 | C1005 | C1020 | C1030 / C1050 | C1100 |
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型號:質量流量計 | M1005 | M1020 | M1030 / M1050 | ―――― |
流量(N2轉化流量) | 10,20,30,50,100,200,300,500SCCM 1,2,3,5SLM | 10,20SLM | 30,50SLM | 100LM |
對應氣體類型 | 各種氣體(腐蝕性氣體請聯(lián)系我們) | 空氣 / N2 / Ar / H2 / CO2 / O2 / He | 空氣 / N2 | |
閥門類型 | NO:常開(不適用于儀表) | |||
控制流量范圍 | 5-99% FS(不適用于儀表) | |||
流量精度 | ± 2% FS [* ± 1% FS 可用](精度保證范圍 15-35 °C) * 詳情請聯(lián)系我們。 | |||
流量設定信號 | 0.25 至 5VDC(不適用于儀表) | |||
流量輸出信號 | 0-5VDC | |||
再現(xiàn)性 | ± 0.2% FS | ± 0.5% FS | ||
響應時間 | ≤ 6 秒 | ≤15秒 | ||
所需壓差 | 50-300KPa | 200-300KPa | ||
耐壓 | 1MPa (G) | |||
保證工作溫度 | 5-50℃,85%RH以下 | |||
外漏 | 1 × 10 -7 Pa ? m 3 / sec He | |||
安裝姿勢 | 未規(guī)定(免費) | |||
供電電壓、電流消耗 | + 15VDC:60mA,-15VDC:150mA | |||
通訊方式 | 模擬:0-5VDC | |||
氣體接觸材料質量 | SUS316L、聚四氟乙烯、氟橡膠 | |||
密封材料質量 | 氟橡膠 | |||
執(zhí)行器方式 | 熱量(不適用于儀表) | |||
表面處理 | 機加工 | |||
連接配件 | 如需 1 / 4in.SWL(等效)、一鍵式接頭和其他接頭形狀,請聯(lián)系我們。 |