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高過(guò)濾精度陶瓷氣體過(guò)濾器

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更新日期:2024-03-19

簡(jiǎn)要描述:

日本pureron高過(guò)濾精度陶瓷氣體過(guò)濾器PGFL系列
在保持本公司以往產(chǎn)品PGF系列的高過(guò)濾性能的基礎(chǔ)上,實(shí)現(xiàn)了低壓力損失。外形尺寸與以往的PGF系列*相同,處理能力達(dá)到了原來(lái)的約兩倍。

高過(guò)濾精度陶瓷氣體過(guò)濾器
用途過(guò)濾雜質(zhì)

日本pureron高過(guò)濾精度陶瓷氣體過(guò)濾器PGFL系列

 

  • 高過(guò)濾精度、低壓力損失
    在保持本公司以往產(chǎn)品PGF系列的高過(guò)濾性能的基礎(chǔ)上,實(shí)現(xiàn)了低壓力損失。外形尺寸與以往的PGF系列*相同,處理能力達(dá)到了原來(lái)的約兩倍。
  • 蝕刻和薄膜形成時(shí)必*高選擇性
    在追求高選擇性的過(guò)程中,極其重要的一點(diǎn)是去除水、氧氣等不純物的問題。為了切實(shí)地做到去除不純物,首先必*,是在高溫狀態(tài)下進(jìn)行烘烤。從該觀點(diǎn)出發(fā)研制出的陶瓷過(guò)濾器可進(jìn)行200℃的高溫烘烤。
  • 零維護(hù)實(shí)現(xiàn)成本削減
    能夠根據(jù)粒子粒徑大小分階段進(jìn)行過(guò)濾的三層結(jié)構(gòu),因此幾乎不會(huì)有堵塞的問題。并且與以往的過(guò)濾器相比,具有高耐久性、高耐熱性特征的陶瓷過(guò)濾器不會(huì)在使用過(guò)程中出現(xiàn)故障。所以不會(huì)因生產(chǎn)線暫時(shí)中斷而帶來(lái)經(jīng)濟(jì)損失,并可長(zhǎng)期持續(xù)地削減成本。

日本pureron高過(guò)濾精度陶瓷氣體過(guò)濾器PGFL系列

規(guī)格

 

過(guò)濾精度0.003μm(但是,純水過(guò)濾時(shí)は0.1μm)
推薦流量20~400?/min(各型號(hào)區(qū)別:參考流量特性曲線)
設(shè)計(jì)壓力17MPa (2,465PSIG) at20℃本產(chǎn)品全部經(jīng)過(guò)14.7MPa的耐壓測(cè)試后出貨。但是,依據(jù)日本國(guó)內(nèi)的高壓氣體保安法,高使用壓力的顯示和使用是不超過(guò)1MPa。關(guān)于1MPa以上的高壓煤氣認(rèn)定品,請(qǐng)?jiān)儐栁覀儭?/td>
常用壓力1MPa(145PSIG)未滿
容許差壓9.6MPa (1,392PSIG) at20℃
高連續(xù)使用溫度120℃
烘烤溫度200℃
外部泄漏量2×10-11Pa?m3/sec以下
構(gòu)成材料外罩:SUS316L 內(nèi)表面粗糙度:Rmax0.7μm以下 元素:氧化鋁陶瓷(Al2O3)  密封圈:PTFE
連接零件1/4"、3/8"、1/2"、3/4" Gasket seal、 Compression seal、UPG®、其它
 

 

 

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