“高強度,高純度氧化鋁陶瓷”為醫(yī)療和耐等離子領(lǐng)域做出的貢獻
西村高強度高純度氧化鋁陶瓷N-9000NS和N-9000T
西村高強度高純度氧化鋁陶瓷N-9000NS和N-9000T的平均晶粒尺寸為1μm或更小,比普通高純度氧化鋁陶瓷強1.5至2倍。作為使用的陶瓷,它引起了人們的注意。另外,由于幾乎沒有晶界偏析,因此被用作具有優(yōu)異的耐等離子體性的半導體制造設(shè)備用陶瓷。
“高純度氧化鋁陶瓷”具有各種特性,但應(yīng)注意六個主要特性。
(1)優(yōu)異的耐久性
由于其高硬度和出色的耐磨性,它適合用作長時間使用的零件的材料。
(2)難以突破
它是精密零件的z佳材料,因為它抗彎曲,扭曲和壓縮,并且不易損壞。
(3)溫和,易洗
表面光滑,且晶體粒徑為1微米或更小。
由于紅細胞的大小為5微米,因此不易粘附到氧化鋁晶體上且易于清洗,因此
適用于重復(fù)使用以及需要保持衛(wèi)生的應(yīng)用。
(4)耐化學藥品
它不易被大多數(shù)酸和堿侵蝕,并具有出色的耐化學性。
(5)優(yōu)異的耐等離子性
由于它具有高純度(Al 2 O 3 > 99.9%)并且?guī)缀鯖]有晶間偏析,因此被用作抗等離子體材料。
(6)絕緣性好
由于雜質(zhì)少,因此絕緣擊穿電壓高(能夠承受作為絕緣材料的電壓的能力),體積效率低(每單位體積的電阻值),即使在高溫下也保持絕緣,并且耐熱性優(yōu)異。
評價項目 | 單元 | 西村高純 | (參考值) | |||
N-9000NS | N-9000T | ISO 6474 * 1 | ASTM F603 * 1 | |||
堆積密度 | 克/厘米3 | 3.99 | 3.99 | ≧3.94 | ≧3.90 | |
化學成分 | 鋁2 O 3 | % | > 99.9 | > 99.9 | ≧99.5 | ≧99.5 |
氧化鎂 | % | <0.05 | <0.05 | ≤0.3 | ― | |
其他 | % | <0.05 | <0.05 | ― | ― | |
SiO2 + CaO + | % | ― | ― | ≤0.1 | ― | |
SiO2 +堿 | % | ― | ― | ― | ≤0.1 | |
精細的 | 平均晶粒尺寸 | 微米 | 0.95 | 0.95 | ≤4.5 | ≤7 |
標準偏差 | 微米 | ― | ― | ≤2.6 | ― | |
彎曲強度 | 兆帕 | 822 | 750 | ― | ≧400 | |
彈性系數(shù) | GPa | 406 | 401 | ― | ≧380 | |
維氏硬度 | GPa | 21.4 | 18.8 | ― | ― |
特別地,從特征(3)中提到的表面光滑度可以預(yù)期以下應(yīng)用。