光學(xué)檢漏儀的原理
當(dāng)各種氣體排出時,每種氣體都會發(fā)出自己*的光。通過測量這些光的每個波長的光譜強度,可以測量各種氣體的分壓。由該分壓計算出各氣體的泄漏量。
由于它可以測量光,因此即使是低真空也可以輕松測量。
(右圖是各種氣體的發(fā)射顏色示例。)
光學(xué)檢漏儀的檢測優(yōu)勢
1.無需昂貴且耗竭的氦氣
? 可使用氬氣或氣氛(氮氣)進(jìn)行泄漏測試
2.檢查時間可以縮短和簡化
?可從低真空區(qū)域(約50Pa)進(jìn)行測試
?氣體逸出迅速,可縮短檢查周期
?可一鍵更換搜索氣體?使用大氣中的氮氣檢查泄漏和總泄漏量后的氬氣可以通過切換到該模式來識別泄漏位置。
3.無需高級技能
?由于沒有吸收或滲透到彈性體中,因此可以進(jìn)行可靠的泄漏檢測。
4.可以準(zhǔn)確量化泄漏量
?使用標(biāo)準(zhǔn)電導(dǎo)元件達(dá)到大氣壓空氣(氮氣)的泄漏標(biāo)準(zhǔn)。
?可以將空氣校準(zhǔn)值轉(zhuǎn)換為氬氣等
下圖是使用已知電導(dǎo)的元件在大氣壓空氣中進(jìn)行靈敏度校準(zhǔn)后,確認(rèn)使用氬氣測量泄漏量的準(zhǔn)確度的圖表。通過在大氣中進(jìn)行一次校準(zhǔn),可以精確測量高達(dá) 10-8 Pa·m3/s 的氣體類型,例如氮氣和氬氣。
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